Vlastnosti difuzních křemíkových tlakových senzorů

Vlastnosti difuzního křemíkového tlakového senzoruUPX19

1. Je vhodný pro výrobu vysílačů malého rozsahu: piezorezistivní efekt silově citlivého odporu křemíkového čipu nemá mrtvou zónu v dolní části blízko nulového bodu a dosah tlakového senzoru může být jako malé jako několik Kpa.

2. Vysoká výstupní citlivost: Faktor citlivosti křemíkového tahového odporu je 50 až 100krát vyšší než u kovových tenzometrů, takže citlivost odpovídajícího senzoru je velmi vysoká a obecný rozsah výstupu je asi 100 mv. Proto neexistují žádné zvláštní požadavky na obvod rozhraní a jeho použití je pohodlnější.

3. Vysoká přesnost: Protože cítění, citlivá konverze a detekce senzoru jsou realizovány stejnou komponentou, neexistuje žádné mezikonverzní spojení a opakovatelnost a chyba hystereze jsou malé. Protože samotný monokrystalický křemík je velmi tuhý a deformace je malá, je zajištěna dobrá linearita.

4. Vzhledem k tomu, že unisexuální deformace díla je tak nízká jako řád mikrodeformace, maximální posunutí elastického čipu je v řádu submikronů, takže nedochází k opotřebení, únavě, stárnutí a životnost je až 1×103 tlakového cyklu, se stabilním výkonem a vysokou spolehlivostí.

5. Díky vynikající odolnosti křemíku proti chemické korozi mají i neizolované difuzní křemíkové tlakové senzory schopnost se do značné míry přizpůsobit různým médiím.

6. Protože čip využívá integrovaný proces a nemá žádné přenosové části, má malé rozměry a nízkou hmotnost.

Pro podrobnosti prosím kontaktujteStella Meng.