Charakteristika difuzních křemíkových tlakových snímačů

Ve srovnání se senzory jiných principů mají difuzní křemíkové tlakové senzory následující vlastnosti:

1. Vhodné pro výrobu snímačů malého dosahu. Piezorezistivní efekt silově citlivého rezistoru křemíkového čipu nemá mrtvou zónu v dolním rozsahu blízko nule a rozsah tlakového senzoru může být až několik Kpa.

2. Vysoká výstupní citlivost. Faktor citlivosti křemíkového odporu proti namáhání je 50-100krát vyšší než u kovového tenzometru, takže citlivost odpovídajícího senzoru je velmi vysoká a obecný rozsah výstupu je asi 100 mv. Proto neexistují žádné zvláštní požadavky na obvod rozhraní a je pohodlnější jej používat.

3. Vysoká přesnost. Vzhledem k tomu, že snímání, citlivá konverze a detekce senzoru jsou realizovány stejnou komponentou, neexistuje žádné mezikonverzní spojení a chyby opakovatelnosti a hystereze jsou malé. Protože samotný monokrystalický křemík má velkou tuhost a malou deformaci, je zaručena dobrá linearita.

4. Vzhledem k nízké deformaci pracovní jednotky až do řádu mikrodeformace je maximální posunutí elastického čipu v řádu submikronů, takže nedochází k opotřebení, únavě, stárnutí a provozu životnost je až 1×103 tlakových cyklů, se stabilním výkonem a vysokou spolehlivostí.

5. Díky vynikajícímu chemickému antikoroznímu výkonu křemíku mají i neizolované difúzní křemíkové tlakové senzory značnou míru schopnosti přizpůsobit se různým médiím.

6. Protože čip využívá integrovanou technologii a nemá žádné přenosové části, má malé rozměry a nízkou hmotnost.

Jakýkoli dotaz na našeUPB1křemíkový tlakový vysílač, kontaktujte prosímStella Meng.